水的純度，芯片的速度 | 沃頓科技自主研發(fā)超純水膜，助算力狂飆！
2025/06/30
AI預(yù)測(cè)、AI辦公、AI寫詞作曲……當(dāng)人們?cè)谏钪胁粩嗵剿魅斯ぶ悄艿腘種打開方式時(shí)，或許未曾意識(shí)到，AI每一次高速“思考”的背后，都涌動(dòng)著每秒萬(wàn)億次的算力洪流。而支撐這場(chǎng)智能革命的引擎正深藏于一枚小小的芯片中，每一枚芯片的完美誕生，都離不開超純水的潔凈守護(hù)。
微電子行業(yè)對(duì)超純水要求有多嚴(yán)格？
從硅砂到芯片的蛻變，需要跨越數(shù)千余道精密工序，每一個(gè)環(huán)節(jié)都須嚴(yán)格把控，水質(zhì)更為關(guān)鍵。幾乎不含任何離子、有機(jī)物、顆粒和微生物的超純水應(yīng)運(yùn)而生，廣泛應(yīng)用于光刻、蝕刻、清洗及封裝等重要環(huán)節(jié)，一個(gè)普通的芯片制造工廠每天可以使用 1000 萬(wàn)加侖的超純水。
超純水水質(zhì)好壞直接影響到芯片的良品率和質(zhì)量，因而微電子行業(yè)對(duì)其純度要求極高，在電阻率、總有機(jī)碳、顆粒物、菌群、溶解氧、金屬離子、硅元素等方面都具有嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。
反滲透膜與超純水制備
超純水可通過反滲透法、離子交換法、蒸餾法等技術(shù)加工制取，其中，反滲透技術(shù)因高脫鹽率、適應(yīng)水質(zhì)含鹽量范圍廣、環(huán)保、產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定等特點(diǎn)得到普遍應(yīng)用。
工藝流程：在超純水的制備工藝中，膜系統(tǒng)進(jìn)水一般為市政自來(lái)水或自來(lái)水+回用水，經(jīng)過預(yù)處理及2B3T工藝處理后，進(jìn)入RO的進(jìn)水電導(dǎo)一般小于10μs/cm。
RO膜技術(shù)需求：
一方面，脫除超純水的TOC（尿素等），另一方面，對(duì)膜元件通量需求較大，系統(tǒng)通常設(shè)計(jì)單支膜產(chǎn)水量達(dá)到1.2m3/h以上。
由于回用水中包含表面活性劑及其他生產(chǎn)沖洗過程中的清洗劑會(huì)對(duì)產(chǎn)水量有影響，對(duì)膜產(chǎn)水量的抗衰減性能要求高。
沃頓科技UE系列定義超純水中國(guó)方案
沃頓科技超純水膜UE系列顯著提升了PA脫鹽層的聚合度及致密性，脫鹽率可達(dá)99.7%，可實(shí)現(xiàn)TOC及SiO2的高脫除率，并且更耐進(jìn)水TOC高負(fù)荷沖擊。
采用第三代給水格網(wǎng)，改善水流分布，降低壓力損失，凈壓力增加，產(chǎn)水量更大，能耗更低，且改變進(jìn)水格網(wǎng)表面特性，降低污染物附著力、更耐污染更易清洗。
成功案例：
某企業(yè)有RO系統(tǒng)8套，單套78支膜元件，單套設(shè)計(jì)產(chǎn)水量110t/h，設(shè)計(jì)回收率≥90%；使用沃頓科技膜產(chǎn)品LE-440UE，單套系統(tǒng)產(chǎn)水量112t/h，回收率93.9%，進(jìn)水TOC＜200ppb，產(chǎn)水TOC 10-30ppb，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定，產(chǎn)水品質(zhì)良好。
目前沃頓科技的超純水膜UE系列產(chǎn)品已在多家大型半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定應(yīng)用。未來(lái)，沃頓科技將持續(xù)以創(chuàng)新的超純水膜技術(shù)，為微電子產(chǎn)業(yè)賦能，助力高端芯片制造向精密化、規(guī)模化進(jìn)階，驅(qū)動(dòng)可持續(xù)發(fā)展，守護(hù)的純凈未來(lái)。
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